扫描电子显微镜图像系统

2016-03-29技术资料

扫描电子显微镜是视察物质微观外貌形貌的重要东西,它重要由真空体系、电子光学体系、图像体系和控制体系构成。

当代扫描电子显微镜图像表现体系和控制体系都已经实现PC控制下的数字化,同时增长了图像处置处罚功效,可以大概容易的与通用软件相联合,方便编辑陈诉、论文和信息传送。对付早期模仿图像体系和专用盘算机控制的数字图像体系的扫描电子显微镜可以通过外接盘算机图像采团体系实现模仿图像数字化,或图像体系数字化。



什么是模仿图像数字化?

便是将获取的图像模仿信号颠末模数转换器(ADC)酿成数据输入到盘算机中存储、表现和处置处罚。凭据这种原理制成的图像体系,便是我们常说的被动式图像体系。其长处:收罗卡电路简朴,代价自制。缺点:安置、调试困难,由于它必要和扫描电子显微镜的扫描体系同步,以是要转变原扫描电子显微镜内部电路,稍不警惕就会造成变乱,给扫描电子显微镜带来硬伤。

别的,由于不克不及和扫描电子显微镜扫描真正同步,收罗到的图像变形,最为显着的是圆变为椭圆,同时不克不及及时处置处罚,只有将收罗到的图像存储以后举行处置处罚,才可以输出。

什么是图像体系数字化?

用数字扫描体系替换模仿扫描体系,由此获取的图像信号数据,完全对应电子束扫描点上的样品信息,图像表现辨别率对应电子束在样品上扫描过的行和列的点数,图像扫描和图像表现全部字化。

必要阐明的是当代数字扫描电子显微镜自界说辨别率值为:10241024,这是一个最佳值(从收罗速率和辨别率两方面思量),这和被动式图像体系所谓的图像辨别率不是一个观点。我们称如许的体系为主动式图像体系,外洋升级扫描电子显微镜也是接纳此种要领。其长处:图像质量高,速率快,不会孕育发生图像变形等题目,安置简朴,由于全部扫描电子显微镜都预留有外部图像控制接口,当外部控制信号到来时,内部扫描部门主动被旁路,表现部门被消隐,不必要转变任何内部电路布局。缺点:收罗卡电路庞大,本钱高。

综述,以上先容了两种扫描电子显微镜改革图像体系的要领,最重要的区别在于是“被动式图像体系”照旧“主动式图像体系”上,此中主动式图像体系是比年来国际上广泛利用的,由于被动式图像体系是一种早期图像数字化过渡产物,所谓的图像辨别率实质上是模仿信号取样点数,并非数字图像辨别率,像质较差,而主动式图像体系标称的辨别率才真正是数字图像辨别率,可以有用进步图像质量。