由于该产品已进行多次功能升级和更新迭代,我们不保证 MX4RT新型FPD专业检查显微镜提供的图片和各项参数等信息均为最新,我们建议您点击此处联系我们的在线工程师为您服务,同时我们也欢迎您电话咨询:!
MX4RT微分干涉显微镜采用无限远色差校正光学系统,配备透反射式照明系统可用于观察不透明产品的表面结构特征,具备明场观察,偏光观察以及DIC观察三种观察模式,可以观察FOGCCOG爆破粒子状态结构。
产品性能特点:
MX4RT为新型FPD检查显微镜,专为LCD行业/ TFT玻璃/COG导电粒子压痕、粒子爆破检查
MX4RT采用6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查
MX4RT采用长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源。
序号 | 名称 | 技术参数 |
01 | 平场目镜 | 大视野PL10X/22mm |
02 | 金相物镜 | 无限远长工作距平场消色差金相物镜5X-DIC,WD=10.8mm,NA=0.15 无限远长工作距平场消色差金相物镜10X-DIC,WD=12.2mm,NA=0.30 无限远长工作距平场消色差金相物镜20X-DIC,WD=4mm,NA=0.45 无限远长工作距平场消色差金相物镜50X,WD=7.9mm NA=0.55 |
03 | 总放大倍数 | 50X-500X |
04 | 观察头 | 铰链式三目,30°倾斜,分光比:三目50%/50% |
06 | 调焦机构 | 透反机架,前置低手位粗微调同轴调焦机构,粗调每转行程:30mm,微调精度:0.001mm,带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置,内置5WLED透射光照明系统,上下光可独立控制 |
07 | 载物台 | 6英寸三层机械移动平台,低手位X\Y方向同轴调节,平台面积445mmX240mm,移动范围:158mmX158mm,玻璃载物平台 |
08 | 偏光附件 | 检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路 |
09 | 摄像接口 | 0.5X摄像接口,C型接口 |
10 | 照明系统 | 宽电压100V~240V,5W暖色LED落射光照明系统,带视场光阑与孔径光阑,中心可调。 |