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由于该产品已进行多次功能升级和更新迭代，我们不保证MX51奥林巴斯工业检查显微镜提供的图片和各项参数等信息均为最新，我们建议您点击此处联系我们的在线工程师为您服务，同时我们也欢迎您电话咨询：!
MX51 产品介绍
奥林巴斯MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜，其考虑了检查效率的设计、鲜明的图像和卓越的分辨软件方案，帮助实现多种观察方法的附件，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。
○ 紧凑的设计实现Zui小的占地空间
○ 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
○ 标配158X158mm手动移动载物台(Zui大可用于200mm晶圆检查)
○ 选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
○ 采用防静电设计,极大方便磁头检查
○ 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
MX51 技术参数与规格
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正光学系统） | |||
显微镜镜体 | 2-齿轮和齿条导向法 | |||
Z轴同轴粗，微调调焦，载物台行程：32mm（从焦面上行2mm和下行2mm） | ||||
行程相同：15mm（可配透射照明） | ||||
Z轴微调调焦每旋一周的行程为0.1mm（1个单位1μm） | ||||
粗调调焦机构张力可调 | ||||
粗调调焦有上限位机构 | ||||
照明 系统 | 观察方式 | 一 | 明视场/暗视场滑块转换法 | 分光镜组（Zui多6个）换镜旋座法 |
可适用观察模式 | 1、明视场法 2、诺曼尔斯基微分干涉法 3、偏振光照明法 | 1、明视场法 2、暗视场法 3、诺曼尔斯基微分干涉法 4、偏振光照明法 5、红外光 | 1、明视场法 2、暗视场法 3、诺曼尔斯基微分干涉法 4、偏振光照明法 5、荧光照明法 | |
光源 | 6V,30W瓦卤素灯 | 12V,100W瓦卤素灯 | 水银灯;U-LH100HGAPO 需配备BH2-RFL-T3外接电源 | |
灯座：U-LS3O-4 | 灯座：U-LH100L-3 | |||
变压器：TL-4 | MX51采用内置电源 | |||
透射照明 | 明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件（MX-TILLK需与MX-SIC6R2)配合使用 | |||
电源部件 | 一 | 额定电压：100-120/220-240V-108A/0.8A 50/60Hz连续式亮度调节盘 | ||
观察筒 | U-BI30-2广角视场双目观察筒，U-TR30-2广角视场三目观察筒，U-ETR4广角视场正像三目观察筒（视场数22） | |||
U-SWTR-3超宽视场三目观察筒，MX-SWETTR/U-SWETTR-5超宽视场正像倾斜三目观察筒（视场数26.5） | ||||
物镜转换器 配备左侧两个载物台中的任意一个 | U-5RE-2,U-6RE | |||
U-D5BDRE,U-D6BDRE,U-P5BDRE(带有微分干涉衬比法棱镜滑槽） | ||||
载物台 | U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/ 左手控制4X4inch载物台 | MX-SIC6R2同轴有/左手控制6X6inch载物台 | ||
驱动方法：齿轮/齿条， Y轴止动器：手柄调节 | 驱动方法：传动带式 | |||
行程：158(X)X158(Y)mm | ||||
联动方法：2片离合板（内置离合开关手柄） | ||||
托架尺寸：200X200mm | ||||
透射照明面积：100X100mm | ||||
外形尺寸与重量 | 尺寸：约430(W)X591(D)X495(H)mm。重量：约26kg(镜体约重11kg) | |||
考虑了检查效率的设计
○ 高灵敏度载物台可以迅速决定位置
MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。专用150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。
○ 快速切换物镜，提高检查速度
电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系
○ 多种选择可实现卓越的成像性能
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的卓越性能。
观察影像实例：
明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察 荧光观察
软件方案
○ 使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
帮助实现多种观察的附件
○ 近红外观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的象差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
近红外线观察单元 粘合衬垫
○ 荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。
荧光镜观察 荧光观察
○ 透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。
透射照明单元
